ΠροτεινόμεναΘέματακαιΑνάθεσηΔιπλωματικώνΕργασιών
Ανάπτυξη μοντέλων αντιδραστήρων πλάσματος με συνδυασμό πρώτων αρχών, πειραματικών μετρήσεων και τεχνικών μηχανικής μάθησης
Οι διεργασίες πλάσματος σε αντιδραστήρες χαμηλής πίεσης χρησιμοποιούνται ευρύτατα στη βιομηχανία ημιαγωγών. Περίπου το 1/3 των βημάτων κατασκευής ενός ολοκληρωμένου κυκλώματος είναι διεργασίες πλάσματος. Το πλάσμα (ιονισμένο αέριο, κατά μέσο όρο ηλεκτρικά ουδέτερο) προκύπτει από την εφαρμογή ηλεκτρομαγνητικών πεδίων στα αέρια τροφοδοσίας των αντιδραστήρων.
 
Το αντικείμενο της εργασίας είναι η ανάπτυξη μοντέλου αντιδραστήρα πλάσματος χαμηλής πίεσης που χρησιμοποιείται για την εγχάραξη (plasma etching) μικρο- και νανοδομών σε υποστρώματα SiO2. Για την ανάπτυξη του μοντέλου θα συνδυαστούν πρώτες αρχές (εξισώσεις διατήρησης μάζας, ορμής και ενέργειας και εξισώσεις Maxwell, οι οποίες θα λυθούν σε διαθέσιμο λογισμικό), πειραματικές μετρήσεις και τεχνικές μηχανικής μάθησης.
Επιβλέπων μέλος ΔΕΠ: Γεώργιος Κόκκορης

Τομέας: Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων

Σχετικό Μάθημα : Μηχανική Βιομηχανικών Αντιδραστήρων

Περίοδος Ανάθεσης: Φεβρουαρίου Ακ. Έτους 2025-2026