ΠροτεινόμεναΘέματακαιΑνάθεσηΔιπλωματικώνΕργασιών
Εξαγωγή συντελεστών ρυθμού αντιδράσεων που λαμβάνουν χώρα σε αντιδραστήρες πλάσματος με τη χρήση μεθόδων μηχανικής μάθησης (σε συνεργασία με τον Επικ. Καθηγητή Μιχάλη Καβουσανάκη)
Εξαγωγή συντελεστών ρυθμού αντιδράσεων που λαμβάνουν χώρα σε αντιδραστήρες πλάσματος με τη χρήση μεθόδων μηχανικής μάθησης
Οι διεργασίες πλάσματος σε αντιδραστήρες χαμηλής πίεσης χρησιμοποιούνται ευρύτατα στη βιομηχανία ημιαγωγών. Περίπου το 1/3 των βημάτων κατασκευής ενός ολοκληρωμένου κυκλώματος είναι διεργασίες πλάσματος. Το πλάσμα (ιονισμένο αέριο, κατά μέσο όρο ηλεκτρικά ουδέτερο) προκύπτει από την εφαρμογή ηλεκτρομαγνητικών πεδίων στα αέρια τροφοδοσίας των αντιδραστήρων.
Το μαθηματικό πρότυπο αντιδραστήρα πλάσματος περιλαμβάνει τις εξισώσεις διατήρησης μάζας, ορμής και ενέργειας καθώς και τις εξισώσεις Maxwell. Μία από τις προκλήσεις στην ανάπτυξη του προτύπου είναι το μεγάλος πλήθος αντιδράσεων (εκατοντάδες) που λαμβάνουν χώρα στους αντιδραστήρες και κυρίως η αβεβαιότητα στις τιμές τους.
Ο στόχος της παρούσας εργασίας είναι η εκτίμηση των άγνωστων συντελεστών ρυθμού αντιδράσεων σε αντιδραστήρα πλάσματος χαμηλής πίεσης που χρησιμοποιείται για την εγχάραξη υποστρωμάτων. Για το σκοπό αυτό θα αναπτυχθεί μεθοδολογία που θα συνδυάζει πειραματικές μετρήσεις με μεθόδους μηχανικής μάθησης και πιο συγκεκριμένα με νευρωνικά δίκτυα καθοδηγούμενα από τη  φυσική [Physics Informed Neural Networks (PINNs)].
Επιβλέπων μέλος ΔΕΠ: Γεώργιος Κόκκορης

Τομέας: Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων

Σχετικό Μάθημα : Υπολογιστική Ανάλυση Φαινομένων Μεταφοράς

Περίοδος Ανάθεσης: Φεβρουαρίου Ακ. Έτους 2025-2026