ΠροτεινόμεναΘέματακαιΑνάθεσηΔιπλωματικώνΕργασιών
Προσομοίωση αντιδραστήρων πλάσματος με συνδυασμό μοντέλων από πρώτες αρχές, πειραματικών μετρήσεων και μοντέλων μηχανικής μάθησης
Οι διεργασίες πλάσματος σε αντιδραστήρες χαμηλής πίεσης χρησιμοποιούνται ευρύτατα στη βιομηχανία ημιαγωγών. Περίπου το 1/3 των βημάτων κατασκευής ενός ολοκληρωμένου κυκλώματος είναι διεργασίες πλάσματος. Το πλάσμα (ιονισμένο αέριο, κατά μέσο όρο ηλεκτρικά ουδέτερο) προκύπτει από την εφαρμογή ηλεκτρομαγνητικών πεδίων στα αέρια τροφοδοσίας των αντιδραστήρων.
 
Το αντικείμενο της εργασίας είναι η προσομοίωση αντιδραστήρα πλάσματος χαμηλής πίεσης που χρησιμοποιείται για την εγχάραξη (plasma etching) μικρο- και νανοδομών σε υποστρώματα SiO2. Για την προσομοίωση θα συνδυαστούν μοντέλα από πρώτες αρχές (εξισώσεις διατήρησης μάζας, ορμής και ενέργειας και εξισώσεις Maxwell, οι οποίες θα λυθούν στο λογισμικό Comsol), πειραματικές μετρήσεις και μοντέλα μηχανικής μάθησης.
Επιβλέπων μέλος ΔΕΠ: Γεώργιος Κόκκορης

Τομέας: Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων

Σχετικό Μάθημα : Μηχανική Βιομηχανικών Αντιδραστήρων

Περίοδος Ανάθεσης: Νοεμβρίου Ακ. Έτους 2025-2026