ΠροτεινόμεναΘέματακαιΑνάθεσηΔιπλωματικώνΕργασιών
Υπολογιστική ανάλυση αντιδραστήρων πλάσματος με εφαρμογές στη βιομηχανία ημιαγωγών
Το πλάσμα στις εφαρμογές τεχνολογικού ενδιαφέροντος προκύπτει από την εφαρμογή ηλεκτρομαγνητικών πεδίων σε αέρια. Η  "κινητήρια δύναμη" για την εξέλιξη της τεχνολογίας πλάσματος ήταν και είναι η βιομηχανία ημιαγωγών με κύρια εφαρμογή την εγχάραξη (plasma etching) μικρο- και νανοδομών σε υποστρώματα κατά τη διαδικασία μεταφορά σχήματος (pattern transfer) η οποία διεξάγεται σε αντιδραστήρες πλάσματος χαμηλής πίεσης (μερικά Pa).
 
Το αντικείμενο της εργασίας είναι η ανάπτυξη υβριδικού μαθηματικού προτύπου (μοντέλου) αντιδραστήρα πλάσματος χαμηλής πίεσης που χρησιμοποείται για την εγχάραξη νανοδομών σε υποστρώματα. Το μοντέλο περιλαμβάνει τις εξισώσεις διατήρησης μάζας, ορμής και ενέργειας αλλά και τις εξισώσεις Maxwell. Ιδιαίτερη βαρύτητα θα δωθεί στην υπολογισμό της κατανομής ενέργειας των ηλεκτρονίων (ΚΕΗ), της κρισιμότερης παραμέτρου στις διεργασίες πλάσματος. Λόγω της χαμηλής πίεσης, η ΚΕΗ θα υπολογιστεί με στοχαστικό μοντέλο. Τα αποτελέσματα του μοντέλου θα συγκριθούν με μετρήσεις συγκεντρώσεων συστατικών και θερμοκρασίας ηλεκτρονίων στον αντιδραστήρα.
Επιβλέπων μέλος ΔΕΠ: Γεώργιος Κόκκορης

Τομέας: Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων

Σχετικό Μάθημα : Μηχανική Βιομηχανικών Αντιδραστήρων

Περίοδος Ανάθεσης: Φεβρουαρίου Ακ. Έτους 2023-2024